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超高分辨场发射扫描电子显微镜(FESEM)

设备名称 超高分辨场发射扫描电子显微镜(FESEM)
品牌 FEI
型号 APERO-LowVac
主要参数

1、分辨率:
高真空模式:15 kV时0.8 nm;1 k V时1.0 nm
低真空模式:15 kV时1. 2nm ;3 kV时1.8 nm
可分析磁性样品,1kV分辨率1.3nm;

2、探测器:极靴内T1、T2,样品室二次电子探测器ET-SED、低真空二次电子探测器LVD、镜筒内探测器T3、极靴内固定的定向背散射电子探测器GAD、可伸缩的扫描透射探测器STEM3+;

3、EDAX氮化硅窗口70mm2电制冷能谱;

功能应用

该仪器具有超高分辨率,能做各种固态样品表面形貌的二次电子像、背散射电子像观察及图像处理。具有高性能x射线能谱仪,能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析,具有形貌、化学组分综合分析能力。广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测与表面形貌观察。

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